Đang xử lý...
- Hãng sản xuất
Vai trò của từng bộ phận trong Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-6C
Bơm hút chân không model 2XZ-6C là thiết bị quan trọng trong các hệ thống máy phủ (PVD, CVD, sputtering…), nơi yêu cầu chân không sâu và ổn định. Mỗi bộ phận trong bơm được thiết kế nhằm thực hiện một nhiệm vụ riêng, góp phần tạo nên hiệu suất tổng thể cao. Dưới đây là vai trò chi tiết của từng bộ phận trong quá trình vận hành.
1. Thân bơm (Housing)
Thân bơm là kết cấu chính bao chứa toàn bộ cơ cấu hút – nén.
Giữ cố định buồng bơm, rôto, cánh gạt.
Đảm nhận nhiệm vụ tản nhiệt tự nhiên.
Tạo sự kín khít để duy trì chân không.
Đối với máy phủ, sự kín hoàn toàn giúp đảm bảo không lọt khí lạ vào hệ thống.
2. Buồng bơm hai cấp (Two-Stage Pump Chamber)
Bơm có 2 cấp hút nối tiếp:
Cấp 1: Hút lượng khí lớn từ máy phủ.
Cấp 2: Hạ áp xuống chân không sâu.
Cấu trúc hai cấp giúp đạt áp suất thấp, rất quan trọng khi cần môi trường chân không cao để tạo lớp phủ đồng đều.
3. Rôto (Rotor)
Rôto là bộ phận quay tạo chuyển động cho cánh gạt.
Quay lệch tâm tạo khoang hút – khoang nén.
Làm việc liên tục, duy trì lưu lượng hút ổn định.
Trong máy phủ, quá trình tạo màng rất nhạy với dao động áp suất, vì vậy rôto cần quay mượt, chính xác.
4. Cánh gạt (Vacuum Vanes)
Cánh gạt là thành phần trực tiếp tạo độ kín.
Trượt ra – vào theo lực ly tâm.
Ép khí vào khoang nhỏ để nén và đẩy ra.
Tạo độ kín tuyệt đối nhờ bám sát buồng bơm.
Nếu cánh gạt hoạt động tốt, độ chân không sẽ sâu và ổn định – yếu tố cốt lõi cho máy phủ.
5. Hệ thống dầu bôi trơn – làm kín (Vacuum Oil System)
Dầu trở thành một phần của quá trình tạo chân không:
Làm kín khe hở để đạt áp suất sâu.
Bôi trơn rôto và cánh gạt để giảm ma sát.
Hấp thụ nhiệt để làm mát máy.
Trong máy phủ, dầu còn giúp ổn định áp suất để đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ.
6. Bộ lọc dầu – khoang chứa dầu
Hệ thống này đảm bảo chất lượng dầu:
Lọc cặn để không gây mài mòn bên trong.
Giữ dầu sạch, tăng chất lượng hút.
Duy trì mức dầu luôn ổn định.
Dầu sạch giúp đạt chân không tốt hơn, điều quan trọng trong công nghệ phủ màng mỏng.
7. Cổng hút (Inlet Port)
Là nơi bơm tiếp nhận khí từ buồng phủ.
Nối trực tiếp với đường hút của máy phủ.
Nhận lượng khí lớn lúc khởi động.
Yêu cầu độ kín cao, không để khí lọt vào.
Hiệu suất của cổng hút ảnh hưởng trực tiếp đến tốc độ hạ áp.
8. Cổng xả (Exhaust Port)
Nơi khí nén được đẩy ra ngoài.
Thải khí và hơi dầu sau nén.
Kết hợp bộ thu sương dầu giúp giảm thất thoát dầu.
Bộ xả thiết kế tốt giúp bơm chạy êm và sạch hơn.
9. Van chống hồi dầu (Anti-Backflow Valve)
Vai trò rất quan trọng khi bơm kết nối với máy phủ:
Ngăn dầu chảy ngược vào buồng phủ khi tắt máy.
Bảo vệ bề mặt phủ khỏi nhiễm bẩn.
Giữ chân không không tăng đột ngột.
Máy phủ rất nhạy với hơi dầu nên van này giúp bảo vệ chất lượng lớp phủ.
10. Gas ballast (nếu có)
Hỗ trợ xử lý hơi nước hoặc khí ngưng tụ.
Đưa luồng khí nhỏ vào buồng nén.
Giảm hấp thụ hơi nước vào dầu.
Giữ dầu bền hơn khi bơm hút hơi ẩm.
Máy phủ thường yêu cầu môi trường khô, nên gas ballast nâng cao hiệu quả vận hành.
11. Phớt trục (Mechanical Seal)
Giữ dầu không thoát ra trục động cơ.
Đảm bảo độ kín của hệ thống.
Ngăn hơi dầu bay vào khu vực động cơ.
Phớt kín giúp bơm vận hành ổn định và giữ độ sạch trong quy trình phủ.
12. Động cơ điện (Motor)
Nguồn năng lượng chính của bơm.
Truyền động trực tiếp giúp giảm rung.
Duy trì tốc độ quay ổn định.
Hỗ trợ tạo chân không sâu nhanh chóng.
Động cơ khỏe là yếu tố cần thiết khi máy phủ yêu cầu tốc độ hạ áp nhanh.
13. Chân đế và giảm chấn (Base + Anti-Vibration Pads)
Giúp bơm hoạt động êm và ổn định:
Giảm rung truyền vào hệ thống phủ.
Giúp bơm đứng vững khi chạy tốc độ cao.
Máy phủ rất nhạy với rung động, vì vậy bộ giảm chấn rất hữu ích.
Trong bơm hút chân không model 2XZ-6C dùng cho máy phủ, mỗi bộ phận đều có vai trò riêng nhưng phối hợp chặt chẽ để tạo chân không sâu, ổn định và sạch. Từ thân bơm, buồng hai cấp, cánh gạt, dầu làm kín đến van chống hồi dầu đều quyết định trực tiếp đến chất lượng màng phủ. Hiểu rõ chức năng của từng thành phần giúp vận hành bơm đúng cách, duy trì độ bền và đảm bảo bề mặt phủ đạt chuẩn cao nhất.
Quá trình tạo và duy trì độ chân không của Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-6C
Bơm hút chân không 2XZ-6C là loại bơm cánh gạt hai cấp, được ứng dụng rộng rãi trong các hệ thống máy phủ (PVD, CVD, mạ chân không…) nhờ khả năng đạt áp suất thấp, vận hành ổn định và hỗ trợ hiệu quả cho bơm tăng áp (turbomolecular hoặc roots pump). Để tạo ra và duy trì độ chân không thích hợp cho buồng phủ, bơm trải qua một chu trình vận hành khép kín gồm nhiều giai đoạn.
Dưới đây là mô tả đầy đủ quá trình đó.
1. Giai đoạn khởi động – chuẩn bị tạo chân không
Khi khởi động, bơm 2XZ-6C thực hiện các nhiệm vụ sau:
Động cơ truyền lực đến rôto, đưa trục quay đạt tốc độ làm việc.
Cánh gạt nhờ lực ly tâm trượt ra ngoài, tạo vùng tiếp xúc kín với buồng bơm.
Dầu bôi trơn được bơm tuần hoàn, tạo lớp màng làm kín và giảm ma sát.
Giai đoạn này giúp bơm sẵn sàng hút khí từ buồng phủ mà không gây rung hoặc giật cục.
2. Giai đoạn hút khí thô – giảm áp suất từ khí quyển
Khi kết nối với buồng phủ:
Bơm cấp 1 thực hiện hút khí từ mức áp suất khí quyển
Thể tích khoang giữa cánh gạt mở rộng → áp suất giảm → khí bị hút vào
Khối lượng lớn khí được đẩy ra ngoài qua van xả
Tác dụng trong hệ thống máy phủ:
Loại bỏ phần lớn không khí, hơi nước và tạp chất lớn
Giảm áp suất ban đầu để hệ thống đủ điều kiện khởi động bơm tăng áp (nếu có)
Ở giai đoạn này, tốc độ hút lớn nhưng độ chân không chưa sâu.
3. Giai đoạn nén – chuyển khí sang cấp 2
Khi khí được hút vào buồng cấp 1:
Rôto quay làm khoang nén thu nhỏ
Khí bị nén và đẩy sang buồng cấp 2 thông qua van một chiều
Dầu tạo kín giúp quá trình nén diễn ra hiệu quả
Việc chuyển khí sang cấp 2 giúp bơm đạt độ sâu chân không mà bơm một cấp không thể đạt được.
4. Giai đoạn hút sâu – hoạt động của cấp 2
Buồng cấp 2 là phần quyết định áp suất cuối.
Tại đây:
Khí chuyển từ cấp 1 được hút vào buồng khí nhỏ hơn
Cánh gạt tiếp tục tạo khoang kín để nén khí sâu hơn
Áp suất trong buồng giảm mạnh xuống mức chân không cao hơn
Kết quả:
Áp suất cuối đạt từ 0.1 Pa đến 0.01 Pa tùy điều kiện
Đủ tiêu chuẩn cho các hệ thống phủ chân không thông thường
5. Giai đoạn xả khí – hoàn thiện chu trình hút
Sau khi bị nén sâu:
Khí được đẩy qua van xả cuối cùng
Một phần hơi dầu ra theo nhưng được giữ lại bởi lọc tách sương dầu
Khí sạch thoát ra môi trường
Chu trình hút – nén – xả diễn ra liên tục hàng nghìn lần mỗi phút.
6. Quá trình duy trì chân không ổn định
Khi buồng phủ đạt áp suất cần thiết:
Bơm chuyển từ hút mạnh sang chế độ duy trì
Hút liên tục lượng khí rò rỉ tự nhiên từ các gioăng, bích nối
Xử lý lượng khí sinh ra từ các vật liệu trong buồng phủ (outgassing)
Gas ballast có thể được mở trong thời gian đầu để đẩy hơi nước ra ngoài
Trong giai đoạn này, các yếu tố duy trì độ chân không ổn định bao gồm:
Dầu sạch và có độ nhớt phù hợp
Hệ thống ống hút kín hoàn toàn
Van xả và cánh gạt không bị mòn
Nhiệt độ bơm trong phạm vi ổn định
Không có hơi nước hoặc dung môi trong khí hút
Đây là trạng thái bơm duy trì chân không lâu dài để hệ thống phủ hoạt động ổn định.
7. Hỗ trợ bơm tăng áp trong hệ thống máy phủ
Trong các máy phủ:
2XZ-6C thường là bơm sơ cấp
Bơm Roots hoặc bơm Turbo sẽ được khởi động sau khi 2XZ-6C giảm áp xuống giới hạn cho phép
Vai trò chính:
Tạo áp suất nền đủ thấp để bơm tăng áp hoạt động an toàn
Liên tục hút khí nền giúp bơm tăng áp đạt hiệu suất tối ưu
Xử lý khí rò rỉ và khí thoát ra từ vật liệu trong buồng phủ
Cơ chế này đảm bảo buồng phủ có môi trường chân không sâu và ổn định suốt quá trình.
8. Giai đoạn duy trì sau khi ngừng quá trình phủ
Khi ngừng phủ:
Bơm cần chạy thêm một thời gian không tải
Nhằm đẩy ẩm và hơi dung môi ra khỏi buồng bơm
Giữ dầu ở trạng thái sạch và không bị nhũ hóa
Điều này giúp chuẩn bị tốt cho lần vận hành tiếp theo.
Bơm hút chân không 2XZ-6C tạo và duy trì độ chân không thông qua chu trình hút – nén – xả liên tục của hai cấp bơm. Quá trình này đảm bảo buồng phủ nhanh chóng đạt áp suất thấp và giữ ổn định trong suốt thời gian vận hành. Nhờ thiết kế hai cấp, cánh gạt bôi trơn dầu và khả năng vận hành êm, bơm 2XZ-6C là thiết bị tối ưu cho các hệ thống máy phủ trong phòng thí nghiệm và sản xuất.
https://vietnhat.company/may-bom-chan-khong-canh-quay-dan-dong-truc-tiep-dong-2xz6c.html
Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-6C
Liên hệ
